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SuperViewW系列白光干涉儀三維表面測量系統以白光干涉技術為原理結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

SuperViewW白光干涉三維表面測量儀以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

SuperViewW非接觸式3D白光干涉儀基于白光干涉原理，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數。

SuperViewW白光干涉3D材料表面輪廓儀采用白光干涉技術，結合具有抗噪性能的3D重建算法，真實還原樣品的每一個細節。可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SuperViewW白光干涉微觀三維形貌測量儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

SuperViewW納米級微觀三維形貌3D白光干涉儀主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。它能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。